ВПЕРВЫЕ – логический элемент в одном минимальном топологическом квадрате.
НАЗНАЧЕНИЕ: Интегральные схемы на элементах с нанометровыми размерами.
ПРИНЦИП: Совмещение n-МОП и p-МОП транзисторов в одной активной области Совмещенный МОП (СМОП) транзистор является вентилем, занимающим минимальный топологический размер.
Пример конструкции вертикального двухзатворного СМОП

СВОЙСТВА

- СМОП обладает достоинствами двухзатворных МОП, делающими его пригодным для нанотехнологического исполнения

- Компактность прибора достигается за счет вертикальной конструкции

- Изоляция вертикальных приборов происходит за счет их разделения в пространстве и с ее учетом прибор занимает четыре топологических квадрата.

- Энергия подводится к прибору в основании вертикального структуры без специальных шин питания

- Элемент работоспособен при минимальных напряжениях питания (0.5 В и менее).

- СМОП является простейшей функциональной схемой – вентилем (инвертором при одном кольцевом затворе и двухвходовым вентилем в двухзатворном варианте).

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ: Наноэлектроника

СОСТОЯНИЕ РАЗРАБОТКИ: Проведено моделирование основных СМОП элементов

V. V. Rakitin Submicron VLSI Elements with Aligned Vertical MOS Transistors