
ФГУП НИИ Физических проблем им. Ф.В. Лукина
Головная организация Минпромторга России по направлению Наноэлектроника
Головная организация Минпромторга России по направлению Наноэлектроника
Научная деятельность
тел.: +7(499) 731-13-06,
+7(499) 731-16-03
факс: +7(499) 731-55-92
email: admin AT niifp.ru
Научная деятельность »
Проекты »
Концепция разрабатываемых наноэлектронных технологий:
применение мульти-кластерных технологических платформ и острофокусной многолучевой электронно-лучевой литографии

- процессы и материалы вакуумной электронолитографии;
- процессы и материалы АСО

- процессы и материалы вакуумной электронолитографии;
- процессы и материалы АСО
Copyright © 1998-2012, NT-MDT