Продукт

Характеристики

Потребитель

Особенности

Кантилеверы

Радиус скругления
острия < 10нм

ЗАО НТ МДТ

Бесконтактные, контактные,
с покрытием

Акселерометры и гироскопы

Собственные частоты инерциальной массы: 305, 8400, 13875, 15962 Гц

В Системах ориентации и навигации

гребенчатая структура, емкостное измерение

Газовые сенсоры

Расход газа от 0,001
до 2 куб.м/час

ЖКХ, газпром

Расходомеры

Микронасос с электростат. приводом

Габариты: 6 х 3 х 1,2 мм, частота колебаний:
10 – 100 Гц

микросистемы

микроклапан

Биохимические   сенсоры

Микроканальные структуры с размерами ~ 10 mkm

Биомедицин-ская пром.

В процессе разработки

Радиочастоные     компоненты

Размеры: десятки мкм

Авиапром, Роскосмос, ВПК

СВЧ коммутаторы

Микророботы

Размеры: от 1 до 5 мм

ВПК

микромахалет