Принцип работы: калориметрический.
Чувствительные и нагревательные элементы: тонкопленочные платиновые резисторы.
Размер мембраны 756x1200 мкм.
Размер кристалла 3.1х4 мм.
Номиналы резисторов: 100-2000 Ом.
Воспроизводимость номиналов: ±2%.
Способ нагрева: прямой; косвенный.
Термостойкость: более 106 термоциклов 20-400°С.
Допустимый разовый нагрев: 1000°С.
Мощность нагревательного элемента: 200 мВт.

Конструкция
Конструктивно-технологической основой сенсора является многослойная термокомпенсированная диэлектрическая мембрана на кремниевой рамке-основании. Чередующиеся слои двуокиси кремния, нитрида кремния и поликремния, оптимизированные по толщинам, последовательности и количеству, формируются методами термического окисления и пиролитического нанесения.

Принцип работы
Принцип действия датчика основан на преобразовании сигнала, формируемого под воздействием теплообмена протекающего потока с системой металлических проводников на кремниевой мембране в электрический сигнал с нормированными характеристиками - принцип термоэлектрической регистрации. Датчик может работать как в термоанемометрическом, так и в калориметрическом режимах.

Области применения