
Головная организация Минпромторга России по направлению Наноэлектроника
Подразделения ИиР
тел.: +7(499) 731-13-06,
+7(499) 731-16-03
факс: +7(499) 731-55-92
email: admin AT niifp.ru
Подразделения ИиР »
ЦКП »
Центр предоставляет услуги по комплексному
изучению структуры,
состава и свойств материалов:
Количественный и качественный элементный анализ состава твердых тел
методами вторично-ионной масс-спектроскопии (ВИМС),
рентгеновского микроанализа
(РМА) и электронной оже-спектрометрии (ЭОС);
определение фазового состава приповерхностных слоев твердых тел методами
растровой
электронной микроскопии (РЭМ),
ВИМС, РМА и ЭОС;
послойный анализ (распределение примесей по глубине до ~ 5мкм) методами
ВИМС и ЭОС;
электронно-микроскопические исследования твердых тел методами РЭМ
и
просвечивающей (растровой) электронной микроскопии (ПЭМ, ПРЭМ);
измерения линейных размеров элементов структур,
микро- и нанорельефа поверхности конденсированных сред методами
атомно-силовой и
растровой электронной микроскопии.
